白光干涉測厚儀是一種新型的表面形貌測量方法，能夠實現對樣品表面形貌的三維測量。它通過掃描定位被測樣品表面各點的最佳干涉位置得到表面各點相對高度，重構表面三維輪廓，實現對樣品表面三維形貌的測量。
白光干涉測厚儀的優勢：
測量精度高、速度快，穩定性好。
?、偈褂酶咝阅芎つ始す馄?，結合伺服穩頻控制系統，達到高精度穩頻。
?、谝怨獠ㄩL為測量單位，分辨率可達nm級。
?、凼褂酶咚俟怆娦盘柌蓸雍吞幚砑夹g，測量速度快。
④配合有環境補償單元，在環境變化的情況下，也可以得到較高的測量精度。
⑤分離式干涉鏡設計，避免了測量鏡組由于主機發熱而引起的鏡組形變。
白光干涉測厚儀的設備亮點：
1、差值算法
同點測量應用時，X射線測厚儀不能使用簡單的面密度差值算法，X射線測厚儀的差值算法，精準的將凈涂布量的面密度計算出來。
2、探頭
采用低能量的X射線，核心部件進口，無輻射污染、環?；砻?、壽命長。X光束的能量可以通過調節加速電壓來優化測量范圍。
3、驅動、通訊
采用高精度伺服電機，定位精度高，重復性好，速度閉環控制功能；
采用無延時實時網絡通訊，信號采樣周期10ms，幾臺測厚儀做同點測量時，確保幾臺測厚儀的掃面路徑*一致
4、掃描架
O型掃描架，采用鋼板一體折彎而成，不易變形，全封閉式設計。
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